CPU、GPU为代表的逻辑工艺制程进入7nm之后，EUV光刻工艺是少不了的。现在内存还停留在10nm工艺级别，暂时没用到EUV工艺。不过三星、SK海力士及美光也确定未来会用，其中美光的EUV工艺内存在2024年量产。