1963年底，山西省辖5专区、4省辖市，94县、11市辖区。
太原市 5区 2县
南城区 北城区 河西区 郊 区 古交工矿区
阳曲县（黄寨镇） 徐清县（清源镇）
大同市 4区
城 区 口泉区 怀仁区 古城区
阳泉市 2区
站上区 荫营区
雁北专区 专署驻大同市 11县
阳高县（城关镇） 天镇县（城关镇） 广灵县（城关镇） 灵丘县（城关镇） 浑源县（城关镇） 应 县（城关镇）
山阴县（岱岳镇） 朔 县（城关镇） 平鲁县（井坪镇） 左云县（城关镇） 右玉县（城关镇）
忻县专区 专署驻忻县 16县
宁武县（城关镇） 静乐县（城关镇） 五台县（城关镇） 繁峙县（城关镇） 兴 县（城关镇） 河曲县（城关镇）
五寨县（城关镇） 原平县（城关镇） 保德县（东关镇） 偏关县（城关镇） 忻 县（城关镇） 定襄县（城关镇）
代 县（城关镇） 岚 县（东村镇） 岢岚县（城关镇） 神池县（城关镇）
晋中专区 专署驻榆次县 20县
太谷县（城关镇） 介休县（城关镇） 平遥县（城关镇） 和顺县（城关镇） 汾阳县（城关镇） 临 县（城关镇）
离石县（城关镇） 昔阳县（城关镇） 盂 县（城关镇） 寿阳县（城关镇） 中阳县（城关镇） 文水县（城关镇）
交城县（城关镇） 榆社县（城关镇） 左权县（城关镇） 平定县（城关镇） 祁 县（城关镇） 灵石县（城关镇）
孝义县（城关镇） 榆次县（城关镇）
晋东南专区 专署驻长治市 1市 16县
长治市
武乡县（城关镇） 沁 县（城关镇） 黎城县（城关镇） 壶关县（城关镇） 晋城县（城关镇） 阳城县（城关镇）
沁源县（城关镇） 襄垣县（城关镇） 平顺县（城关镇） 陵川县（城关镇） 沁水县（城关镇） 高平县（城关镇）
长子县（城关镇） 留屯县（城关镇） 长治县（长治市） 潞安县（城关镇）
晋南专区 专署驻临汾县 29县
临汾县（城关镇） 乡宁县（城关镇） 安泽县（府城镇） 翼城县（城关镇） 稷山县（城关镇） 闻喜县（城关镇）
平陆县（圣人涧镇） 芮城县（城关镇） 垣曲县（刘张镇） 万荣县（城关镇） 运城县（运城镇） 洪洞县（城关镇）
浮山县（城关镇） 蒲 县（城关镇） 石楼县（城关镇） 临猗县（城关镇） 汾西县（城关镇） 霍 县（城关镇）
绛 县（城关镇） 襄汾县（城关镇） 夏 县（城关镇） 永济县（城关镇） 吉 县（城关镇） 大宁县（城关镇）
隰 县（城关镇） 永和县（城关镇） 河津县（城关镇） 新绛县（城关镇） 曲沃县（侯马镇）
★1963年3月16日国务院全体会议第127次会议决定：
1．恢复榆次县。以榆次市的为行政区域为榆次县的行政区域。
2．撤销榆次市。
3．恢复曲沃县。以侯马市的为行政区域为曲沃县的行政区域。
4．撤销侯马市。
◎撤销太原市晋源区、西山工矿区，合并设立郊区，以晋源区、西山工矿区及南城、北城、河西3区所辖农业区域为其行政区域。（山西省人民委员会1963年2月18日批准）
◎设立阳泉市站上区、荫营区。（山西省人民委员会1963年2月18日批准）